當(dāng)前位置：
除核心的空氣凈化系統(tǒng)外，純水系統(tǒng)、純蒸汽系統(tǒng)、特殊氣體系統(tǒng)等配套設(shè)施也是無(wú)塵車(chē)間凈化工程的重要組成部分，直接影響生產(chǎn)工藝的順利開(kāi)展。不同行業(yè)對(duì)配套系統(tǒng)的要求差異顯著，電子半導(dǎo)體、醫(yī)藥等行業(yè)對(duì)水質(zhì)、氣體純度有著極高要求。
純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)需根據(jù)工藝需求確定水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，電子半導(dǎo)體行業(yè)通常需要18兆歐的超純水，需采用多級(jí)過(guò)濾、反滲透、EDI等深度處理工藝。純蒸汽系統(tǒng)用于設(shè)備消毒與工藝加熱，需控制蒸汽純度，避免污染物帶入生產(chǎn)環(huán)節(jié)。特殊氣體系統(tǒng)主要應(yīng)用于電子半導(dǎo)體生產(chǎn)，需選用專(zhuān)用管道與閥門(mén)，確保氣體純度與輸送安全。
配套系統(tǒng)設(shè)計(jì)需注重與空氣凈化系統(tǒng)的協(xié)同，通過(guò)EMS系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)各系統(tǒng)參數(shù)聯(lián)動(dòng)控制。盛世華為在安潔電子傳感器無(wú)塵室項(xiàng)目中，通過(guò)整合空氣凈化、純水、特殊氣體等多個(gè)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了各參數(shù)精準(zhǔn)匹配，為傳感器生產(chǎn)提供了全方位的環(huán)境保障，彰顯了配套系統(tǒng)的重要性。
